電子工業(yè)有機廢氣VOCs的排放,對大氣質(zhì)量、人體健康以及周邊生活環(huán)境的危害都較大,對該類(lèi)污染物進(jìn)行有效控制和治理問(wèn)題也愈發(fā)重要。電子工業(yè)從產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈劃分,自上而下分為電子整機產(chǎn)品、電子基礎產(chǎn)品和電子材料三個(gè)層次。其中涵蓋:電子材料、半導體器件、電子元件及印制電路板、光電器件和電子終端產(chǎn)品等5個(gè)方面。
電子工業(yè)是VOCs排放的主要行業(yè)之一,電子工業(yè)廢氣VOCs排放種類(lèi)有30多種,組分復雜。電子工業(yè)廢氣VOCS主要來(lái)源于對電子產(chǎn)品的表面涂層工藝環(huán)節所用溶劑型涂料和清洗工藝環(huán)節所用有機溶劑所致。電子工業(yè)廢氣VOCS常見(jiàn)的種類(lèi)有:異丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇單甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基異丁基甲酮、二氯甲烷、環(huán)已酮、乙苯、正庚烷、甲氫呋喃、三氯乙烯等。
一般來(lái)說(shuō),廢氣排放中風(fēng)量較大,VOCs濃度較低。半導體工藝過(guò)程中有機廢氣具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和濃度低(通常小于25ppmv)的特點(diǎn),電子工業(yè)廢氣VOCs排放中還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有氣體。
揮發(fā)性有機物(VOCs)排放量大、濃度低、成分復雜,常見(jiàn)有機廢氣治理方法如:焚燒、吸附、冷凝、生物膜法、低溫等離子、光催化氧化等,單獨運用或無(wú)法達成經(jīng)濟高效運行,或不能滿(mǎn)足嚴苛的排放標準。
電子廠(chǎng)廢氣處理方法
(1)預處理階段:一般采用噴淋塔先對廢氣進(jìn)行預處理,去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
(2)主要處理階段:在此階段,比較常見(jiàn)而有效方法有:UV光解,生物過(guò)濾分解,焚燒和催化燃燒等。
這幾種方式各有優(yōu)劣,根據大多數電子廠(chǎng)廢氣的情況,在這里我們主要推薦和介紹活性炭濃縮+蓄熱式催化燃燒系統去除VOCs氣體的方案。